renishaw激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體。儀器采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。

　　

　　激光干涉儀雖然有這多優(yōu)勢(shì)，但是我們?cè)谑褂弥型鶗?huì)出現(xiàn)檢測(cè)偏離值，偏離我們的預(yù)估，以至于在高精度檢測(cè)時(shí)，會(huì)對(duì)設(shè)備產(chǎn)生懷疑。那么，今天我們來(lái)聊一聊引起激光干涉儀測(cè)量誤差的部分原因。

　　

　　1、阿貝誤差

　　

　　因測(cè)量光學(xué)鏡組的安裝高度不在被測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)軸上引起的測(cè)量誤差稱之為阿貝誤差。產(chǎn)生的原因是設(shè)備移動(dòng)時(shí)存在俯仰、扭擺差，因此光學(xué)鏡組與運(yùn)動(dòng)軸偏置距離越遠(yuǎn)，引起的阿貝誤差越大。

　　

　　正確方式：renishaw激光干涉儀校準(zhǔn)時(shí)線性鏡組的安裝高度應(yīng)該盡量靠近被測(cè)軸，使激光光束與運(yùn)動(dòng)軸重合（或盡量靠近），減小阿貝誤差。

　　

　　2、環(huán)境因素

　　

　　環(huán)境補(bǔ)償單元能準(zhǔn)確采集空氣溫度、壓力、相對(duì)濕度信息，基于Edlen公式計(jì)算空氣折射率，以此對(duì)激光波長(zhǎng)進(jìn)行補(bǔ)償。

　　

　　同時(shí)環(huán)境補(bǔ)償單元中材料溫度探頭能實(shí)時(shí)高精度測(cè)量被測(cè)設(shè)備溫度，對(duì)其進(jìn)行溫度補(bǔ)償。但是往往因?yàn)椴僮魅藛T將材料溫度探頭放置在錯(cuò)誤的位置，致使采集的數(shù)據(jù)不能真實(shí)反映被測(cè)物體溫度狀態(tài)，從而增大測(cè)量誤差。

　　

　　正確方式：在線性測(cè)量中，需要開(kāi)啟環(huán)境補(bǔ)償單元，并正確設(shè)置補(bǔ)償材料的種類，放置材料溫度探頭的位置。在高精度的測(cè)量中，需要給予環(huán)境補(bǔ)償單元以及被測(cè)物充分的恒溫時(shí)間。

　　

　　3、余弦誤差

　　

　　激光束路徑與被測(cè)軸之間存在的任何未準(zhǔn)直都會(huì)造成測(cè)得的距離和實(shí)際的運(yùn)動(dòng)距離之間有差異，此誤差被稱為余弦誤差。

　　

　　處理方法：若renishaw激光干涉儀進(jìn)行測(cè)量出現(xiàn)余弦誤差，則激光讀數(shù)將會(huì)小于原本應(yīng)有的數(shù)值。因此，通過(guò)“輕微”調(diào)整云臺(tái)的俯仰及偏轉(zhuǎn)旋鈕直到取得的激光讀數(shù)，將能消除軸上的余弦誤差。

　　

　　4、死程誤差

　　

　　死程誤差是在線性測(cè)量過(guò)程中與環(huán)境因素改變有關(guān)的誤差，在正常狀況下，死程誤差并不大，而且只會(huì)發(fā)生在定標(biāo)后以及測(cè)量過(guò)程中的環(huán)境改變。

　　

　　處理方法：renishaw激光干涉儀在設(shè)定定標(biāo)位置時(shí)，固定反射鏡和移動(dòng)鏡組應(yīng)盡量彼此鄰接，以此減小死程誤差。